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金刚砂线切割液和砂浆切割液的区别及优势

作者:管理员 来源:本站 浏览数:608 发布时间:2016-02-15
金刚石线切割技术就是将高硬度、高耐磨性的金刚石颗粒牢固的固结在钢线基体上而制成固结磨料锯丝,从而使该锯丝对工件进行直接切割的技术。
1. 切割效率高,单晶硅片可以达到1200um/min,多晶/准单晶可以达到700um/min。
2. 环境污染低:金刚砂线切割液辅料是水性切割液。
3. 硅片精度好:TTV<15um,TV<10um。
4. 表面损伤小:表面损伤层:~5um。
5. 锯口损耗少:线芯:Φ120~90um。
线切割在硅片厚度控制、TTV等性能上都优于砂浆切割。
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